去油后进行浸蚀处理，目的是去除金属表面的氧化物，真空泵维修，经过热处理的零件，油污已不存在，可直接进行浸蚀处理，以去除退火后的氧化层。浸蚀处理一般在酸性溶液中进行，大多数金属的氧化物以及金属本身都能与适当浓度的酸溶液起化学反应，氧化物与酸反应生成盐和水，金属与酸作用生成盐和氢气，氢气的一部分被金属表面吸附后，会使某些金属变脆，为了避免金属变脆和过度腐蚀，可在浸蚀液中加入缓蚀剂，并适当控制浸蚀溶液的的浓度及温度。
将待清洗的金属零件放在某种溶液中，并将零件接在电源的正极或负极，另外再用某一材料制作成的极板接电源的另一极，调节电源电压，获得一定电流密度，达到去油和去除金属表面氧化层的目的。
电机与真空泵体之间用联轴器连接，真空泵维修，如不处同一直线上，就称为轴系不对中。通常所讲的不对中多指真空泵轴系不对中。造成轴系不对中的原因有安装误差、温度变化热变形、基础沉降不均以及缓冲垫失效等。对于不对中，真空泵维修，将导致真空泵轴向、径向交变力，引起真空泵轴向振动和径向振动。由于不对中引起的振动会随不对中---程度的增加而增加，真空泵维修工厂，从而产生噪音。
客户经常会有这样的反应，普旭真空泵在运行过程中经常会出现自动跳闸的问题。如何处理这种情况？如果在普旭真空泵维修过程中遇到真空泵跳闸现象，有---检查电机是否有负载。如果普旭真空泵的电机处于负载状态，此时电流过高。如果电流超过电气柜设定的电流，真空泵将自动跳闸。这是普许真空泵的正常现象。因此，在普旭真空泵维修过程中，只能通过高跳电流保护的上限来解决由此引起的真空泵跳闸问题。
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